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真空系統(tǒng)常用名稱
發(fā)布時(shí)間：2011/2/17 9:52:58 | 閱讀次數(shù)：1004次
(1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要
求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。
(2)前級(jí)泵：用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)
的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。
(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，上海正奧泵業(yè)制造有限公司
并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)
中的滑閥泵，就是粗油泵。
(4)維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時(shí)，不能有效地利用前級(jí)
泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。
如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵，就是維持泵。
